1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具體尺寸以設(shè)計為準(zhǔn)），1Cr18Ni9Ti**不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；整體可置于手套箱內(nèi)；

2.樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；基片可加熱至300±1℃（選配）

3.真空系統(tǒng)：機械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥；

4.極限真空：8.0×10-5Pa；

5.真空抽速：大氣～8×10-4Pa≤30min；

6.真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；

7.蒸發(fā)源：3組水冷式電阻蒸發(fā)源，3組間可切換，源間有防污板；

           8.蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供3組蒸發(fā)源切換使用；

           9.膜厚控制系統(tǒng)：進口Inficon SQM-160單水冷探頭，控制精度0.1?；

1010.控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能；

11         11.設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H80cm機電一體化機架，預(yù)留1個CF35法蘭接口；

12.設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

1313.冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；