1 1 腔室尺寸：Ф246×228mm（具體尺寸以設計為準），1Cr18Ni9Ti**不銹鋼材質，氬弧焊接；

2 2 樣品臺尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可調，旋轉：0-20r/min可調；可加熱至300℃；同時可選配偏壓功能；

3 3 真空系統：機械泵（TRP-12,3L/S）+進口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥；

4 極限真空：8.0×10^-5Pa；

5 真空抽速：大氣～8×10^-4Pa ≤ 30min；

6 真空測量：全量程復合真空計，測量范圍：10⁵Pa～10^-5Pa；

7 磁控靶：Φ2英寸3只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；

8 濺射電源：1臺500W直流濺射電源和1臺300W全自動匹配射頻電源；

9 質量流量計：進口10sccm、50sccm 控制器各一套；

10 10 膜厚控制系統：進口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；

11 11 控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養維護提示等功能；

12 12 設備外形：L60cm×W60cm×H96cm機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口；

  13 設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

14       14  冷卻循環系統：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩定的制冷水；